第82章 光刻机与光刻胶 (第2/2页)
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测器、掩膜版.....全部都达到了全国最前沿的技术水平。
另外，掩膜台的运动控制精度达到纳米级，物镜、量台、曝光台、内部封闭框架、减振
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